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先鋒科技（香港）股份有限公司
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真空紫外光譜儀
| 焦距 | 300mm, 十字交叉型Czerny Turner 結構 |
| 入射和出射光束夾角 | 44° |
| f /#. | f/5.3 |
| 光柵尺寸 | 50 x 50mm |
| 波長精度 | +/-0.10 nm (on mechnical counter with 1200 G/mm grating) |
| 波長重復性 | +/- 0.005 nm (使用1200 G/mm光柵) |
| 焦平面 | *大寬度17mm |
| 波長范圍 | 根據所選的光柵而定 |
| 光柵刻劃線(G/mm) (可選擇其他) | 3600 | 2400 | 1800 | 1200 | 600 | 300 | 150 | 75 |
| 波長覆蓋范圍（nm） From 105-nm to | 334 | 500 | 667 | 1000 | 2000 | 4000 | 8000 | 16000 |
| 分辨率(nm) at 313.1nm | 0.02 | 0.03 | 0.04 | 0.06 | 0.12 | 0.24 | 0.48 | 0.96 |
| 線色散倒數(nm/mm) | 0.9 | 1.3 | 1.7 | 2.6 | 5.2 | 10.4 | 20.8 | 41.6 |
| 閃耀波長 (nm) | Holo | Holo | Holo | Holo | ||||
| 104 | 150 | 180 | 150 | 300 | 500 | 2000 | 8000 | |
| 130 | 300 | 250 | 200 | 500 | 1000 | 4000 | 12000 | |
| 240 | 300 | 750 | 2000 | 6000 | ||||
| 500 | 1000 | 3000 | ||||||
| 750 | ||||||||
| 1000 |
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