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BAG402 中真空至超高真空真空計

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更新時間：2022-11-28 12:32:56瀏覽次數：128次

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產品簡介

BAG402中真空至超高真空真空計INFICON的單一Bayard-Alpert熱電離真空計BAG402，測量范圍從5×10-10mbar至2.7×10-2mbar（3.75×10-10Torr至5×10-2Torr）

詳細介紹

BAG402 中真空至超高真空真空計

INFICON 的單一 Bayard-Alpert 熱電離真空計 BAG402，測量范圍從 5×10-10 mbar 至 2.7×10-2mbar（3.75×10-10 Torr 至 5×10-2 Torr）。選擇 INFICON BAG402 緊湊型主動真空計套裝，在低成本、可重復的工藝過程中進行基礎壓力測量。的雙絲極結構提供更優異的精度、長期穩定性和長使用壽命。

益處

測量范圍從 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar（3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr）
出色的可重復性，在 10-8 … 10-2 mbar 工藝壓力范圍內為 5%
過壓檢測保護，防止燈絲燒毀
兩根長壽命氧化銥燈絲
發射電流選擇，降低控制的繁瑣
植入校準數據的傳感器元件可確保規管的高精準性，并且易于更換
符合RoHS

典型應用

半導體工藝和傳送腔室的壓強測量
工業鍍膜
從低真空到超高真空范圍的普通真空測量及控制

規格

類型		BAG402
測量范圍 (空氣, 氧2, 一氧化碳, 氮2)		5×10-10 … 2.7×10-2
精度
10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	±15
重復性
10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	5
除氣 (1)
p < 7.2 × 10-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
壓強, Z大	bar (absolute)	2
溫度
操作 (環境)	°C	0 … +50
儲存	°C	-20 … +70
法蘭口的烘烤，不帶BPG402-S電子單元	°C	80
供電電壓		+20 … +28
輸出信號模擬 (4)
輸出信號	V	0 … +10
測量范圍 log / lin	V	0 … +9
電壓 vs. 壓強	volts per decade	1
錯誤信號	V	> +10
負載阻抗, Z小	k?	10
第二模擬輸出		none
設點繼電器
設定點數量		none
范圍
繼電器觸點
滯后
觸點額定值
數字功能		degas and emission
接口 (數字) (2)		Diagnosis port
發射控制		manual
燈絲		two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
燈絲狀態 / 繼電器		LED / relay
電氣連接		D-Sub, 9-pin, male
電纜長度，Z大值	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空中的材料		Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
內部容積 KF / CF	cm3 (in.3)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	450 / 710
保護級別		IP30