1．技術(shù)參數(shù)
l 曝光面積：100mmX100mm
l 曝光波長(zhǎng)：365nm
l 分辨力：0.8um（膠厚2um的正膠）
l 對(duì)準(zhǔn)精度：±0.6um
l 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm
l 掩模尺寸：2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸
l 樣片尺寸：直徑f15mm-- f100mm（各種不規(guī)則片）
厚度0.1mm--6mm(可擴(kuò)展為15mm)
l 曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量
l 具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能
l 照明不均勻性： 2.5%（f100mm 范圍）
l 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡：既可通過(guò)目鏡目視對(duì)準(zhǔn)，也可通過(guò)CCD+顯示器對(duì)準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù)400倍，光學(xué)+電子放大800倍
物鏡3對(duì)：4倍、10倍、20倍； 目鏡3對(duì)：10倍、16倍、20倍
l 調(diào)平接觸壓力通過(guò)傳感器保證重復(fù)
l 數(shù)字設(shè)定對(duì)準(zhǔn)間隙和曝光間隙
l 具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
l 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程： X: ±5mm; Y: ±5mm; q: ±6度
l 焦厚：600mm（SU8膠，用戶提供檢測(cè)條件）
l 光源平行度：2o
l 曝光能量密度：>20mW/cm
l 汞燈功率：1000W（直流，進(jìn)口）
2．外形尺寸：1400mm（長(zhǎng)）′1200mm(寬) ′1950mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
l 冷光橢球鏡
l XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)
l 冷卻風(fēng)扇
l 1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗)
l 光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組（109個(gè)透鏡）、i線濾光片、場(chǎng)鏡、冷光反射鏡1、反射鏡2
（2）對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)
l 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)
l 掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)
l 轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)
l 樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成
l 樣片自動(dòng)調(diào)焦機(jī)構(gòu)
l 承片臺(tái)4個(gè)（f15mm 、2英寸、3英寸、4英寸）
l 掩模夾4個(gè)（2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸）
l 基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）對(duì)準(zhǔn)顯微鏡及CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
l 光源、電源
l 雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體
l 目鏡3對(duì)（10倍、16倍、20倍，共6個(gè)）
l 物鏡3對(duì)（4倍、10倍、20倍，共6個(gè)）
l CCD
l 21英寸液晶顯示器
（4）電控系統(tǒng)
l 汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)
l 單片機(jī)控制系統(tǒng)
l 控制柜桌
（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
l 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開(kāi)關(guān)等
l 電磁閥驅(qū)動(dòng)
l 氣動(dòng)儀
（6）其他附件
l 真空泵一臺(tái)（無(wú)油泵）
l 空壓機(jī)一臺(tái)（泵）
l 管道
（7）技術(shù)資料
l 使用維修說(shuō)明書。
l 顯微鏡使用說(shuō)明書
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