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成都中冷低溫科技有限公司
半導體冷水機循環制冷機chiller,具有溫度穩定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。
半導體冷水機循環制冷機chiller
主要應用與半導體生產過程中及測試環節的溫度精ZHUN控制,具有溫度穩定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。在半導體制作過程/激光加工機/分析裝置/FPD制造裝置等用途中成果較多。
本設備采用變頻控溫方式,提高能效,減少能耗。-20℃下目標制冷量可以達到3600W,滿足用戶制冷需求。精QUE控溫,控溫穩定性達到±0.1℃,使用范圍廣,設定溫度:-20℃~80℃。
半導體冷水機循環制冷機chiller
應用于半導體行業蝕刻裝置,CMP (工藝機械拋光),實驗室精密裝置、高精度測試儀器、醫美設備、固態激光器、模具溫控等。
溫控精度(空載時)±0.05℃
觸摸屏操作,人機交互界面
連鎖控制、可靠性高
定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能
溫度波動小
占地面積小、保護裝置
快速升溫/降溫、提高生產效率、降低運營成本和保障生產
運行穩定、準確控溫
可用選項
省空間、省配線、省配管、省工時、雙變頻型更節能。
可對應溫度穩定性(空載時)±0.05℃。
循環液:氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去離子水(純水)
冷卻方式:水冷式
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商鋪:http://www.xksjj.com/st297044/
主營產品:高低溫沖擊氣流儀(ThermoTST熱流儀),接觸式冷熱沖擊機(ATC/TCU),高低溫卡盤(ThermoChuck),HAST,高壓加速老化試驗機(PCT),非飽和高壓加速老化試驗機(HAST) 、環境應力篩選系統、高低溫循環箱、高低溫沖擊箱、氣體制冷機、氣體溫控器、超低溫制冷機
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