更具靈活性及細節(jié)的聲學(xué)檢測
功能和優(yōu)勢
● 采用Sonolytics 2™ ——簡單、直觀的操作界面——時間發(fā)現(xiàn)缺陷
● 一次掃描可性采集多達100幅圖像，有效節(jié)省時間
● 采用Windows 10操作系統(tǒng)并與現(xiàn)有網(wǎng)絡(luò)兼容
● 易進入掃描區(qū)，簡化加載和卸載過程
● 可選功能包括水循環(huán)、水加熱、非浸水瀑布式™換能器和數(shù)字圖像分析
D9650™延續(xù)了上一代產(chǎn)品的良好精度和穩(wěn)定性，新增改良版電子軟件平臺融合了PolyGate™技術(shù)和Sonolytics™技術(shù)。D9650適用于故障分析、工藝開發(fā)、材料特性描述及低容量生產(chǎn)環(huán)境。
無論是故障分析、工藝開發(fā)、材料特性表達、小批量生產(chǎn)還是其他實驗室檢測，D9650均可提供豐富的功能。D9650可在反射和/或透射模式下工作。
D9650不斷擁有的SONOSCAN創(chuàng)新技術(shù)，兼而采用人性化設(shè)計。通過采用符合人體工程學(xué)的設(shè)計，提供舒適方便的使用體驗。通過的應(yīng)用程序Sonolytics 2™軟件和直觀的操作界面菜單增進效益，同時節(jié)省操作時間。
D9650是新一代C-SAM超聲波掃描顯微鏡，可提供一系列技術(shù)、符合人體工程學(xué)的設(shè)計和SONOSCAN開發(fā)的功能。
D9650產(chǎn)品規(guī)格
規(guī)格
采用PolyGate™同時捕獲100個深度(門棧)，同時提供獨立增益、彩色映射和波形分析。
時域成像TDI™包括：
· A掃描，顯示換能器信號
· B掃描，提供橫截面圖像
· C掃描，提供二維平面圖像
· 批量掃描，顯示材料內(nèi)部缺陷
· 多重掃描，同時采集不同層級的圖像
· 表面掃描，顯示表面缺陷
· 界面掃描，突顯材料間變化
· 回波丟失(LoBE)，形成上述缺陷的陰影
· SONOSCAN的Q-BAM™，提供樣品的聚焦橫截面圖
· 3D-TOF，使用基于時間的分析創(chuàng)建深度或厚度圖像
· 可選THRU-Scan™顯示材料連續(xù)性和脫層或空洞
· 可選同時THRU-scan和反射STaR，通過同時采集THRU-Scan和所有時域圖像以節(jié)省時間
波形分析模式
· 振幅測量峰間信號和極性
· 集成模式™可以突出衰減的信號
· 剖面分析從前表面到目標(biāo)界面的距離
· 時差計算兩個界面之間的距離
· ASF™（聲學(xué)表面平整度）測量表面的翹曲變形。 US 8,794,072 B2
· 通過聲學(xué)阻抗極性檢測器提供極性（如相位）和振幅信息 US 4,866,986
高級觸發(fā)工具
· 正、負和±交叉
· 自動前界面回聲(FIE)模式，通過自動捕捉個反射界面節(jié)省時間
· 采用動態(tài)觸發(fā)模式補償內(nèi)部厚度變化
· 主沖擊信號模式使高級用戶可以利用高級觸發(fā)模式功能來查看整個A掃描信號。門限觸發(fā)模式用于應(yīng)對更具挑戰(zhàn)性的應(yīng)用
AutoScan可以通過預(yù)先編程的位置、焦點、掃描尺寸和分析指令自動檢測和分析托盤上各部分組件的排列。
通過采用Multi-Focus-PolyGate快速發(fā)現(xiàn)合適的設(shè)置，提供一系列圖像以備選擇。
系統(tǒng)
機械
掃描區(qū)域：314 mm x 314 mm
X-Y軸精確度：0.5微米
馬達：X軸高速線性；Y軸步進器；Z軸步進器
電氣性能
脈沖發(fā)生器/接收器：優(yōu)化用于換能器；5MHz-230MHz；95 dB增益0.5 dB步進
數(shù)字轉(zhuǎn)換器：1 8位LSNB1時，1 GSPS
數(shù)字門限：1 ns至10,000 ns
操作系統(tǒng)：Windows 10 Sonolytics 2™
系統(tǒng)設(shè)備要求
通用電壓：90V交流至250V交流50/60Hz；單相15安電路120V交流
尺寸：寬度：1892 mm；深度：737 mm；高度1588 mm
重量：最小420千克，500千克
給排水：注水：?"內(nèi)徑軟管；填壓：150千帕±50千帕；排水：?"內(nèi)徑軟管；排水臺：?"內(nèi)徑軟管
可選功能和設(shè)備
· 水管理模塊可提供自動填充注水、排水、再循環(huán)、過濾和溢流保護功能
· 瀑布式換能器提供非浸泡掃描
· 熱水模塊用于降低水的衰減頻率
· 數(shù)字圖像分析(DIA)包括區(qū)域部分分析（包括Mil-Std-883、Method 2030）、圖像優(yōu)化、直方圖、FFT、多區(qū)域分析和厚度計算，用于量化聲學(xué)數(shù)據(jù)
· VRM™（虛擬重新掃描模塊）儲存99% A掃描數(shù)據(jù)，能夠?qū)Σ豢捎玫牟考鲞M一步分析
· 通用晶圓夾具
· AIMM™（聲學(xué)阻抗測量模塊）用于測量材料的聲學(xué)阻抗
· 厚度測量模塊
· 光頻譜分析模塊
· HRU-Scan掃描臂
· 反射和投射同時成像
