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NANOVEA 3D輪廓儀-科研專用

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陜西毅杰惠誠(chéng)科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

陜西毅杰代理的美國(guó)Nanovea三維非接觸式表面形貌儀，是目前國(guó)際上用在科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域表面輪廓測(cè)試設(shè)備之一，采用目前國(guó)際最前端的白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的測(cè)試分析；通過(guò)專業(yè)的三維分析軟件可得到樣品表面的任意參數(shù)，例如:二維高度曲線分布圖，二維等高線分布圖，三維表面形貌圖、孔的深度，孔的寬度，孔的面積，孔的體積，......

詳細(xì)介紹

:產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

美國(guó) NANOVEA 公司是一家的在微納米尺度上的光學(xué)表面形貌測(cè)測(cè)量技術(shù)的，生產(chǎn)的三維非接觸式表面形貌儀是目前國(guó)際上用在科學(xué)研究和工業(yè)領(lǐng)域表面輪廓測(cè)量設(shè)備之一，采用目前國(guó)際最前端的白光軸向色差原理(性能優(yōu)于白光干涉輪廓儀與激光干涉輪廓儀)對(duì)樣品表面進(jìn)行快速、重復(fù)性高、高分辨率的測(cè)試分析，通過(guò)專業(yè)的三維分析軟件可得到樣品表面的任意參數(shù)，例如:二維高度曲線分布圖，二維等高線分布圖，三維表面形貌圖、孔的深度，孔的寬度，孔的面積，孔的體積，臺(tái)階高度、一維線粗糙度參數(shù)、二維線粗糙度參數(shù)，樣品的波紋度、功率譜密度，表面高度分層統(tǒng)計(jì)，自相關(guān)統(tǒng)計(jì)等表面參數(shù)的測(cè)量。

第二:產(chǎn)品特性:
◎ 測(cè)量具有非破壞性:采用白光軸向色差技術(shù)。

◎ 測(cè)量速度快:達(dá) 500mm/s。
◎ Z 方向分辨率:達(dá) 2nm。
◎ Z 方向測(cè)量范圍為 20mm。
◎ XY 方向測(cè)量范圍:500mm×400mm，無(wú)需進(jìn)行圖片拼接。
◎ 可測(cè)樣品的坡度:87°，是測(cè)??高坡度與高曲折度樣品的。
◎ 測(cè)量范圍廣:可測(cè)平面、曲面、球面、透明、半透明、高曲折度、拋光、粗糙樣品、金屬材料、高漫反射，低反射率、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、衣服、光學(xué)材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發(fā)、牙齒...)。
◎ 不受環(huán)境光的影響，測(cè)試前可做背底噪聲處理；

◎ 不受樣品反射率的影響，反射率的范圍為:0.01%-99%。

◎ 操作簡(jiǎn)單:樣品無(wú)需特殊處理，固定放置在工作臺(tái)上就可進(jìn)行測(cè)試。

◎ 優(yōu)于傳統(tǒng)的探針技術(shù)與干涉技術(shù)形貌儀。

第三:測(cè)量原理

Nanovea 公司的三維非接觸式表面形貌測(cè)量?jī)x采用的是國(guó)際最前端的白光軸向色差技術(shù)(又稱為白光準(zhǔn)共聚焦技術(shù))實(shí)現(xiàn)快速，高分辨率，大范圍的三維表面形貌測(cè)量及相關(guān)參數(shù)測(cè)量的。

◎ 利用白光點(diǎn)光源，光線穿過(guò)透鏡后產(chǎn)生色差，不同波長(zhǎng)的光分開(kāi)后入射到被測(cè)樣品上。

◎ 根據(jù)準(zhǔn)共聚焦原理，探測(cè)器系統(tǒng)只能接收到被測(cè)物體上單點(diǎn)反射回來(lái)的特定波長(zhǎng)的光，從而得到這個(gè)點(diǎn)距離透鏡的垂直距離。

◎ 這個(gè)點(diǎn)為點(diǎn)光源與傳感器所在的直線的中垂線與樣品的交點(diǎn)。

◎ 再通過(guò)點(diǎn)掃描的方式可得到一條線上的坐標(biāo)，即 X-Z 坐標(biāo)

◎ 最后以 S 路徑獲得物體??個(gè)點(diǎn)的三維 X-Y-Z 坐標(biāo)

◎ 最后將采集的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)交給專業(yè)的三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數(shù)的分析

◎ 軟件能夠自動(dòng)獲取用戶關(guān)心的表面形貌參數(shù)。

第四:三維專業(yè)軟件分析

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1、可創(chuàng)建任意區(qū)域的 2D 曲線圖或 2D 等高線分布圖;

2、可創(chuàng)建任意區(qū)域的 3D 圖;

3、自動(dòng)得到樣品的一維線粗糙度參數(shù)(Ra,Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Rq,Rsk,Rku);

4、自動(dòng)得到樣品的二維面粗糙度(Sa,Sp,Sq,Sv,Sz,Ssk,Sku);

5、可得到樣品的平整度，波紋度等參數(shù);

6、自動(dòng)校準(zhǔn)功能，例如粗糙度，一般情況下對(duì)于曲面樣品，首先展平，然后自動(dòng)給出粗糙度的參數(shù);

7、具有尺寸測(cè)??:長(zhǎng)度，寬度，角度，深度

8、可測(cè)孔洞磨損面積，磨損體積等參數(shù);

9、利用計(jì)算機(jī)遠(yuǎn)程控制;

10、具有功率譜密度測(cè)試功能;

11、具有分形統(tǒng)計(jì)功能;

12、多種格式的圖與數(shù)據(jù)輸出。

第五:應(yīng)用

隨著微納米技術(shù)與精密加工技術(shù)的發(fā)展，對(duì)物體的表面參數(shù)的測(cè)??越來(lái)越重要，傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡技術(shù)與掃描電鏡技術(shù)已不能滿足工業(yè)開(kāi)發(fā)對(duì)樣品進(jìn)行大范圍、高精度、高速度、定量測(cè)量的需要，三維非接觸式表面形貌儀由于其的性能，可以解決這些傳統(tǒng)技術(shù)對(duì)三維表面形貌測(cè)量限制，越來(lái)越多的公司與高校的科研就夠開(kāi)始使用三維非接觸式表面形貌儀來(lái)進(jìn)行產(chǎn)品的質(zhì)量控制與研發(fā)，三維表面形貌儀已成為研究材料表面特性的工具之一。該設(shè)備也被廣泛的應(yīng)用于汽車，摩擦，航天，半導(dǎo)體，腐蝕，巖石,醫(yī)科材料，造紙，精密加工，光學(xué)，制藥等行業(yè)。

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