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高真空測(cè)量系統(tǒng)分子泵組

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高真空測(cè)量系統(tǒng)分子泵組，有分子泵接口和機(jī)械泵家口，一臺(tái)泵組兩用，空載極限壓強(qiáng)為1X10-4Pa

詳細(xì)介紹

高真空測(cè)量系統(tǒng)分子泵組，泵組搭配機(jī)械泵抽氣口和分子泵抽氣口，可根據(jù)需求使用，前級(jí)采用雙極四旋片真空泵，2.2L/S。分子泵采用150分子泵，空載極限壓強(qiáng)為1X10-4Pa

高真空測(cè)量系統(tǒng)分子泵組KT-150YCF技術(shù)參數(shù)：

控制方式	手動(dòng)人機(jī)界面控制
前級(jí)泵接口	KF25（客戶根據(jù)真空環(huán)境潔凈度要求自行安裝前級(jí)泵）
分子泵	FF-100/150 51000轉(zhuǎn)/分
分子泵抽氣速率	140L/S
分子泵啟動(dòng)時(shí)間	≤2min
空載極限壓強(qiáng)	≤1X10-4Pa
真空測(cè)量方式	冷陰極標(biāo)準(zhǔn)規(guī)管
真空測(cè)量范圍	1E﹢2到1E-5 Pa
真空測(cè)量精度	1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數(shù) 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數(shù) 重復(fù)性：　±5%
抽氣接口	KF25
閥門類型	KF25手動(dòng)擋板閥
系統(tǒng)電源	AC220V
系統(tǒng)功率	≤750W
環(huán)境溫度	5~32℃
冷卻方式	強(qiáng)制風(fēng)冷卻
濕度	≤80%RH
外形尺寸	250 X360 X 300mm （寬-深-高）
重量	25KG
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