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LSMS 160磁控濺射鍍膜機

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更新時間：2024-05-15 12:29:10瀏覽次數：178次

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產品簡介

LSMS 160磁控濺射鍍膜機LSMS-160磁控濺射鍍膜機是一種用于材料科學領域的工藝試驗儀器，用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系。可鍍各種硬質膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質復合膜和其他化學反應膜，亦可鍍鐵磁材料。主要用于實驗室制備有機光電器件的金屬電極及介電層，以及制備用于生長納米材料的催化劑薄膜層。可廣泛應用濺鍍方式在樣品表面沉......

詳細介紹

用途：用濺鍍方式在樣品表面沉積數微米以下的薄膜，可制備包括各種金屬、半導體、鐵磁材料,以及絕緣的氧化物、陶瓷等物質。
主要規格：可依序進行6個靶材的濺鍍；同時進行2個靶材的濺鍍；可濺鍍范圍4英寸以內；真空度8×10 -8torr，厚度均勻性誤差<>
適用晶片尺寸：樣品尺寸不能大于6英寸；
可濺鍍的材料：金屬類Al、Cu、Gr、Co、Fe、Ni、Pt、Ag、Ti、Ta；合金類NiFe、CoFe、CoFeB、NiMn、FeMn、TbFeCo；氧化物類MgO等。