全自動磁控離子濺射儀 型號:M31/GVC-2000庫號：M374697   參數輸入電壓 AC220V±10%，50Hz工作電壓 DC600V大功率（主機與機械泵） 450W可選靶材 金、鉑、銀、銅、鈦、鉛等常用金屬真空泵 兩級直聯旋片式真空泵 1L/s真空腔 約φ125×125mm樣品杯 φ64×1整機尺寸（長×寬×高） 424×271×255（mm）重量（主機） 11 kg工作環境 溫度 5～40℃，濕度<60%存儲環境 溫度-10~60℃，濕度<80%工作氣體 Air / Ar保護功能 過流、真空雙保護

全自動磁控離子濺射儀 型號:M31/GVC-2000庫號：M374697   參數輸入電壓 AC220V±10%，50Hz工作電壓 DC600V大功率（主機與機械泵） 450W可選靶材 金、鉑、銀、銅、鈦、鉛等常用金屬真空泵 兩級直聯旋片式真空泵 1L/s真空腔 約φ125×125mm樣品杯 φ64×1整機尺寸（長×寬×高） 424×271×255（mm）重量（主機） 11 kg工作環境 溫度 5～40℃，濕度<60%存儲環境 溫度-10~60℃，濕度<80%工作氣體 Air / Ar保護功能 過流、真空雙保護

全自動磁控離子濺射儀 型號:M31/GVC-2000庫號：M374697   參數輸入電壓 AC220V±10%，50Hz工作電壓 DC600V大功率（主機與機械泵） 450W可選靶材 金、鉑、銀、銅、鈦、鉛等常用金屬真空泵 兩級直聯旋片式真空泵 1L/s真空腔 約φ125×125mm樣品杯 φ64×1整機尺寸（長×寬×高） 424×271×255（mm）重量（主機） 11 kg工作環境 溫度 5～40℃，濕度<60%存儲環境 溫度-10~60℃，濕度<80%工作氣體 Air / Ar保護功能 過流、真空雙保護