質量流量控制器/流量計/熱式質量流量計型號:CS200A庫號：M400064

CS200A質量流量控制器&流量計

CS200A氣體質量流量控制器，采用傳感器和溫度補償技術，因此產品可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時，產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面加岀。全量程范圍內，CS200C產品快可在800ms以內達到設定流量，響應時間將使用過程中產生的系統小化，所需流量加。

•采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時進行相應的補償，從根本上抑制了流量計的零漂現象，保證了傳感器線性。

•CS200產品嚴格按照SEMI標準制造，尺寸符合通用的SEMI標準。

•CS200系列產品支持±8V~±16V雙電源,+14V~+28V單電源供電;數字，模擬輸入輸出。

•產品支持RS485，DeviceNet通訊方式。

•具有多氣體多量程功能、自動歸零功能、功能、軟啟動功能、延遲功能及功能強大的免費客戶端使用軟件。

CS200A，甲烷，2SLM，8mm卡套，RS485通訊，大工作壓力0.45MPa,壓差0.05-0.35MPa

技術參數

類型：CS200-A

閥類型：常開(100 SCCM≤流量規格≤5 SLM)或常閉

流量規格(N2)：(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM

(0～1,2,3,5,10,20,30,50)SLM

準確度：±1.0%S.P.(≥35%F.S.)

±0.35%F.S.(＜35%F.S.)

線性：±0.5%F.S.

重復：±0.2%F.S.

響應時間：≤1sec

工作壓差范圍：

0.05～0.35MPa流量規格≤10SLM

0.1～0.35MPa 10＜流量規格≤30SLM

0.2～0.45MPa 30＜流量規格≤50SLM，＜0.02 MPa

大工作壓力：0.45MPa

溫度系數：零點：≤±0.05%F.S./℃；

調節時：≤±0.1%F.S./℃流量規格≤30SLM

調節時：≤±0.2%F.S./℃流量規格＞30SLM

耐壓強度：3MPa

漏率：1×10-10 Pa·m3/sec He

密封材料：氟橡膠

工作環境溫度：（5～45）℃

輸入信號：數字：RS485或DeviceNet或ProfiBus

模擬：(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA

輸出信號：數字：:RS485或DeviceNet或ProfiBus

模擬：(0～5)VDC或(4～20)mA或(0～20)mA

零漂：在沒有零點校正時＜0.6%F.S./年

電源：±8～±16 VDC(雙極)或+14～+28 VDC(單極)

表面化學成分：常態

表面粗糙度：25 Ra

標準接頭形式：

雙卡套φ6；雙卡套1/4′′；雙卡套3/8′′；VCR1/4′′陽接頭；雙卡套φ3；

雙卡套1/8′′；VCO 1/4";φ6(內)x1軟管接頭;φ5(內)x1.5軟管接頭；

φ4(內)x1軟管接頭;雙卡套φ10mm；A型密封接頭;

電源接頭形式：D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭；ProfiBus接頭；模擬接頭

重量：1 Kg