德國DIENER真空等離子清洗機(Prep-5型 )
【簡單介紹】
【詳細說明】
Prep-5型 等離子清洗/刻蝕機
真空艙體 Φ150mm × L320 mm 水平 (5 升)
* 不銹鋼艙體
* 40KHz 射頻發(fā)生器
* 高效針孔電極
* 數(shù)字計時器可自動設(shè)定操作程序
* 皮拉尼真空泵可設(shè)定重復(fù)操作
* 銅氣體管、氣體流量計、 針閥
* 使用氣體流量計和針閥控制氣體
* 自動計時器控制等離子處理過程
* 半自動控制
* 功率連續(xù)可調(diào) 0-200W
* 自動阻抗匹配
* 自由設(shè)置參數(shù):處理時間、功率、氣體
* 安全保護功能:真空觸發(fā)、艙門鎖
* 電磁閥保護,回流油霧不能進入反應(yīng)艙
* 規(guī)格:W550 mm × H330 mm × D500 mm
* 電源:AC 220V/50Hz
* 真空泵:萊寶Leybold Type Trivac D2.5B (2.5 m3/h)
選裝件
* 13.56 MHz 射頻發(fā)生器
* 2.45 GHz 射頻發(fā)生器
* 硅酸鹽艙體(外置環(huán)形電極)或石英艙體
配件選裝指南
• 13.56MHz射頻發(fā)生器
• 2.45GHz射頻發(fā)生器
• 半自動控制系統(tǒng)
• 全自動控制系統(tǒng)- 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)
• 計算機(PC)控制系統(tǒng)- 操作輕松簡便的控制系統(tǒng)同時可記錄處理的整個過程
• 附加氣體通路
• 自動真空艙門
• 設(shè)備自動門
• 條碼閱讀器
• 偏壓測量系統(tǒng)
• 碟型閥
• 排氣過濾系統(tǒng)
• 適用于腐蝕性氣體系統(tǒng)
• 艙體托盤可訂做 - 適合艙體的*尺寸
• 粉末處理裝置
• 法拉第容器
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