位移傳感器原理

　　簡(jiǎn)介
　　
　　電感式位移傳感器具有無(wú)滑動(dòng)觸點(diǎn)，工作時(shí)不受灰塵等非金屬因素的影響，并且低功耗，長(zhǎng)壽命，可使用在各種惡劣條件下。位移傳感器主要應(yīng)用在自動(dòng)化裝備生產(chǎn)線對(duì)模擬量的智能控制。
　　
　　光電式位移傳感器利用激光三角反射法進(jìn)行測(cè)量，對(duì)被測(cè)物體材質(zhì)沒(méi)有任何要求，主要影響為環(huán)境光強(qiáng)和被測(cè)面是否平整。比如公路測(cè)量用到真尚有的激光位移傳感器，就對(duì)傳感器進(jìn)行了特殊配置，與普通情況不一樣。
　　
　　位移是和物體的位置在運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的移動(dòng)有關(guān)的量，位移的測(cè)量方式所涉及的范圍是相當(dāng)廣泛的。小位移通常用應(yīng)變式、電感式、差動(dòng)變壓器式、渦流式、霍爾傳感器來(lái)檢測(cè)，大的位移常用感應(yīng)同步器、光柵、容柵、磁柵等傳感技術(shù)來(lái)測(cè)量。其中光柵傳感器因具有易實(shí)現(xiàn)數(shù)字化、精度高（目前分辨率zui高的可達(dá)到納米級(jí)）、抗*力強(qiáng)、沒(méi)有人為讀數(shù)誤差、安裝方便、使用可靠等優(yōu)點(diǎn)，在機(jī)床加工、檢測(cè)儀表等行業(yè)中得到日益廣泛的應(yīng)用。
　　
　　原理
　　
　　計(jì)量光柵是利用光柵的莫爾條紋現(xiàn)象來(lái)測(cè)量位移的。“莫爾”原出于法文Moire，意思是水波紋。幾百
　　
　　位移傳感器年前法國(guó)絲綢工人發(fā)現(xiàn)，當(dāng)兩層薄絲綢疊在一起時(shí)，將產(chǎn)生水波紋狀花樣；如果薄綢子相對(duì)運(yùn)動(dòng)，則花樣也跟著移動(dòng)，這種奇怪的花紋就是莫爾條紋。一般來(lái)說(shuō)，只要是有一定周期的曲線簇重疊起來(lái)，便會(huì)產(chǎn)生莫爾條紋。計(jì)量光柵在實(shí)際應(yīng)用上有透射光柵和反射光柵兩種；按其作用原理又可分為輻射光柵和相位光柵；按其用途可分為直線光柵和圓光柵。下面以透射光柵為例加以討論。透射光柵尺上均勻地刻有平行的刻線即柵線，a為刻線寬，b為兩刻線之間縫寬，W=a+b稱為光柵柵距。目前國(guó)內(nèi)常用的光柵每毫米刻成10、25、50、100、250條等線條。光柵的橫向莫爾條紋測(cè)位移，需要兩塊光柵。一塊光柵稱為主光柵，它的大小與測(cè)量范圍相一致；另一塊是很小的一塊，稱為指示光柵。為了測(cè)量位移，必須在主光柵側(cè)加光源，在指示光柵側(cè)加光電接收元件。當(dāng)主光柵和指示光柵相對(duì)移動(dòng)時(shí)，由于光柵的遮光作用而使莫爾條紋移動(dòng)，固定在指示光柵側(cè)的光電元件，將光強(qiáng)變化轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。由于光源的大小有限及光柵的衍射作用，使得信號(hào)為脈動(dòng)信號(hào)。如圖1，此信號(hào)是一直流信號(hào)和近視正弦的周期信號(hào)的疊加，周期信號(hào)是位移x的函數(shù)。每當(dāng)x變化一個(gè)光柵柵距W，信號(hào)就變化一個(gè)周期，信號(hào)由b點(diǎn)變化到b’點(diǎn)。由于bb’=W，故b’點(diǎn)的狀態(tài)與b點(diǎn)狀態(tài)*一樣，只是在相位上增加了2π。
　　
　　信號(hào)處理
　　
　　辨向原理
　　
　　在實(shí)際應(yīng)用中，位移具有兩個(gè)方向，即選定一個(gè)方向后，位移有正負(fù)之分，因此用一個(gè)光電元件測(cè)定莫爾條紋信號(hào)確定不了位移方向。為了辨向，需要有π/2相位差的兩個(gè)莫爾條紋信號(hào)。如圖2，在相距1/4條紋間距的位置上安放兩個(gè)光電元件，得到兩個(gè)相位差π/2的電信號(hào)u01和u02，經(jīng)過(guò)整形后得到兩個(gè)方波信號(hào)u01’和u02’。光柵正向移動(dòng)時(shí)u01超前u0290度，反向移動(dòng)時(shí)u02超前u0190度，故通過(guò)電路辨相可確定光柵運(yùn)動(dòng)方向。
　　
　　細(xì)分技術(shù)
　　
　　隨著對(duì)測(cè)量精度要求的提高，以柵距為單位已不能滿足要求，需要采取適當(dāng)?shù)拇胧?duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分。所謂細(xì)分就是在莫爾條紋信號(hào)變化一個(gè)周期內(nèi)，發(fā)出若干個(gè)脈沖，以減少脈沖當(dāng)量。如一個(gè)周期內(nèi)發(fā)出n個(gè)脈沖，則可使測(cè)量精度提高n備，而每個(gè)脈沖相當(dāng)于原來(lái)柵距的1/n。由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖頻率提高了n倍，因此也稱n倍頻。
　　
　　通常用的有兩種細(xì)分方法：其一、直接細(xì)分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個(gè)光電元件，可得到兩個(gè)相位差90o的電信號(hào)，用反相器反相后就得到四個(gè)依次相差90o的交流信號(hào)。同樣，在兩莫爾條紋間放置四個(gè)依次相距1/4條紋間距的光電元件，也可獲得四個(gè)相位差90o的交流信號(hào)，實(shí)現(xiàn)四倍頻細(xì)分。其二、電路細(xì)分。
　　
　　四倍頻集成電路同時(shí)具有辨相和四倍頻細(xì)分的功能，可將兩路正交的方波進(jìn)行四倍頻后產(chǎn)生兩路加、減計(jì)數(shù)信號(hào)，可送雙時(shí)鐘可逆計(jì)數(shù)器進(jìn)行加、減計(jì)數(shù)，也可直接送微型計(jì)算機(jī)（包括單片機(jī)）進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。
　　
　　1、特點(diǎn)：
　　
　?、拧?shù)字化微分電路：4路微分信號(hào)脈寬由主頻周期決定，因此，是一致的，而且可在很大范圍里方便地選擇。
　　
　　⑵、臨界報(bào)警與過(guò)速報(bào)警兩檔速度提示：可在光柵運(yùn)動(dòng)速度接近極限值時(shí)給出臨界報(bào)警信息，以便操作者及時(shí)控制光柵運(yùn)動(dòng)快慢。在速度超過(guò)極限值時(shí)本電路將給出出錯(cuò)信息。
　　
　?、?、零位控制：零位的設(shè)置將給操作者帶來(lái)許多方便，如故障斷電后的重新定位等。本電路有“到零位開(kāi)始計(jì)數(shù)”和“到零位停止計(jì)數(shù)”，以及“與零位無(wú)關(guān)”三種工作模式。
　　
　　⑷、片選：本電路設(shè)有片選端，可以構(gòu)成多標(biāo)數(shù)顯系統(tǒng)。
　　
　　⑸、COMS工藝：輸入輸出的電壓電流與4000系列CMOS及LSTTL電路兼容。
　　
　　分類
　　
　　根據(jù)運(yùn)動(dòng)方式分類
　　
　　直線位移傳感器
　　
　　原理：
　　
　　直線位移傳感器的功能在于把直線機(jī)械位移量轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。為了達(dá)到這一效果，通常將可變電阻滑軌定置在傳感器的固定部位，通過(guò)滑片在滑軌上的位移來(lái)測(cè)量不同的阻值。傳感器滑軌連接穩(wěn)態(tài)直流電壓，允許流過(guò)微安培的小電流，滑片和始端之間的電壓，與滑片移動(dòng)的長(zhǎng)度成正比。將傳感器用作分壓器可zui大限度降低對(duì)滑軌總阻值性的要求，因?yàn)橛蓽囟茸兓鸬淖柚底兓粫?huì)影響到測(cè)量結(jié)果。
　　
　　LT直線位移傳感器：直線位移傳感器（2張）
　　
　　⊙廣泛應(yīng)用于注塑、機(jī)床及機(jī)械加工等行業(yè)
　　
　　⊙無(wú)限分辨率
　　
　　⊙行程：50至900mm
　　
　　⊙獨(dú)立線性度：±0.05%
　　
　　⊙位移速度達(dá)到：5m/s、10m/s可選
　　
　　⊙工作溫度：-30至+100℃
　　
　　⊙多種電氣連接方式
　　
　　⊙保護(hù)等級(jí)：IP60（IP65可選）
　　
　　角度位移傳感器
　　
　　根據(jù)材質(zhì)分類
　　
　　金屬膜傳感器、導(dǎo)電塑料傳感器、光電式傳感器、磁敏式傳感器、金屬玻璃鈾傳感器、繞線傳感器
　　
　　電位器式位移傳感器它通過(guò)電位器元件將機(jī)械位移轉(zhuǎn)換成與之成線性或任意函數(shù)關(guān)系的電阻或電壓輸出。普通直線電位器和圓形電位器都可分別用作直線位移和角位移傳感器。但是，為實(shí)現(xiàn)測(cè)量位移目的而設(shè)計(jì)的電位器，要求在位移變化和電阻變化之間有一個(gè)確定關(guān)系。圖1中的電位器式位移傳感器的可動(dòng)電刷與被測(cè)物體相連。物體的位移引起電位器移動(dòng)端的電阻變化。阻值的變化量反映了位移的量值，阻值的增加還是減小則表明了位移的方向。通常在電位器上通以電源電壓，以把電阻變化轉(zhuǎn)換為電壓輸出。線繞式電位器由于其電刷移動(dòng)時(shí)電阻以匝電阻為階梯而變化，其輸出特性亦呈階梯形。如果這種位移傳感器在伺服系統(tǒng)中用作位移反饋元件，則過(guò)大的階躍電壓會(huì)引起系統(tǒng)振蕩。因此在電位器的制作中應(yīng)盡量減小每匝的電阻值。電位器式傳感器的另一個(gè)主要缺點(diǎn)是易磨損。它的優(yōu)點(diǎn)是：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，輸出信號(hào)大，使用方便，價(jià)格低廉。
　　
　　霍耳式位移傳感器它的測(cè)量原理是保持霍耳元件（見(jiàn)半導(dǎo)體磁敏元件）的激勵(lì)電流不變，并使其在一個(gè)梯度均勻的磁場(chǎng)中移動(dòng)，則所移動(dòng)的位移正比于輸出的霍耳電勢(shì)。磁場(chǎng)梯度越大，靈敏度越高；梯度變化越均勻，霍耳電勢(shì)與位移的關(guān)系越接近于線性。圖2中是三種產(chǎn)生梯度磁場(chǎng)的磁系統(tǒng)：a系統(tǒng)的線性范圍窄，位移Z=0時(shí)，霍耳電勢(shì)≠0；b系統(tǒng)當(dāng)Z<2毫米時(shí)具有良好的線性，Z=0時(shí)，霍耳電勢(shì)=0；c系統(tǒng)的靈敏度高，測(cè)量范圍小于1毫米。圖中N、S分別表示正、負(fù)磁極。霍耳式位移傳感器的慣性小、頻響高、工作可靠、壽命長(zhǎng)，因此常用于將各種非電量轉(zhuǎn)換成位移后再進(jìn)行測(cè)量的場(chǎng)合。
　　
　　光電式位移傳感器它根據(jù)被測(cè)對(duì)象阻擋光通量的多少來(lái)測(cè)量對(duì)象的位移或幾何尺寸。特點(diǎn)是屬于非接觸式測(cè)量，并可進(jìn)行連續(xù)測(cè)量。光電式位移傳感器常用于連續(xù)測(cè)量線材直徑或在帶材邊緣位置控制系統(tǒng)中用作邊緣位置傳感器。
　　
　　主要特性參數(shù)
　　
　　標(biāo)稱阻值：電位器上面所標(biāo)示的阻值。
　　
　　重復(fù)精度：此參數(shù)越小越好.
　　
　　分辨率：位移傳感器所能反饋的zui小位移數(shù)值.此參數(shù)越小越好.導(dǎo)電塑料位移傳感器分辨率為無(wú)窮小.
　　
　　允許誤差：標(biāo)稱阻值與實(shí)際阻值的差值跟標(biāo)稱阻值之比的百分?jǐn)?shù)稱阻值偏差，它表示電位器的精度。允許誤差一般只要在
　　
　　±20%以內(nèi)就符合要求，因?yàn)橐话阄灰苽鞲衅魇且苑謮旱姆绞絹?lái)使用，具體電阻的大小對(duì)傳感器的數(shù)據(jù)采集沒(méi)有影響.
　　
　　線性精度：直線性誤差.此參數(shù)越小越好.
　　
　　壽命：導(dǎo)電塑料位移傳感器都在200萬(wàn)次以上.
　　
　　常用傳感器特性
　　
　　導(dǎo)電塑料位移傳感器
　　
　　用特殊工藝將DAP（鄰苯二甲酸二稀丙脂）電阻漿料覆在絕緣機(jī)體上，加熱聚合成電阻膜，或?qū)AP電阻粉熱塑壓在絕緣基體的凹槽內(nèi)形成的實(shí)心體作為電阻體。特點(diǎn)是：平滑性好、分辯力優(yōu)異耐磨性好、壽命長(zhǎng)、動(dòng)噪聲小、可靠性*、耐化學(xué)腐蝕。用于宇宙裝置、導(dǎo)彈、飛機(jī)雷達(dá)天線的伺服系統(tǒng)等。
　　
　　繞線位移傳感器：是將康銅絲或鎳鉻合金絲作為電阻體，并把它繞在絕緣骨架上制成。繞線電位器特點(diǎn)是接觸電阻小，精度高，溫度系數(shù)小，其缺點(diǎn)是分辨力差，阻值偏低，高頻特性差。主要用作分壓器、變阻器、儀器中調(diào)零和工作點(diǎn)等。
　　
　　金屬玻璃鈾位移傳感器
　　
　　用絲網(wǎng)印刷法按照一定圖形，將金屬玻璃鈾電阻漿料涂覆在陶瓷基體上，經(jīng)高溫?zé)Y(jié)而成。特點(diǎn)是：阻值范圍寬，耐熱性好，過(guò)載能力強(qiáng)，耐潮，耐磨等都很好，
　　
　　是很有前途的電位器品種，缺點(diǎn)是接觸電阻和電流噪聲大。
　　
　　金屬膜位移傳感器
　　
　　金屬膜電位器的電阻體可由合金膜、金屬氧化膜、金屬箔等分別組成。特點(diǎn)是分辨力高、耐高溫、溫度系數(shù)小、動(dòng)噪聲小、平滑性好。
　　
　　磁敏式位移傳感器
　　
　　消除了機(jī)械接觸，壽命長(zhǎng)、可靠性高，缺點(diǎn)：對(duì)工作環(huán)境要求較高.
　　
　　光電式位移傳感器：
　　
　　消除了機(jī)械接觸，壽命長(zhǎng)、可靠性高，缺點(diǎn)：數(shù)字信號(hào)輸出，處理煩瑣.
　　
　　磁致伸縮式位移傳感器
　　
　　一、概述
　　
　　磁致伸縮位移（液位）傳感器，通過(guò)內(nèi)部非接觸式的測(cè)控技術(shù)地檢測(cè)活動(dòng)磁環(huán)的位置來(lái)測(cè)量被檢測(cè)產(chǎn)品的實(shí)際位移值的；該傳感器的高精度和高可靠性已被廣泛應(yīng)用于成千上萬(wàn)的實(shí)際案例中。
　　
　　由于作為確定位置的活動(dòng)磁環(huán)和敏感元件并無(wú)直接接觸，因此傳感器可應(yīng)用在極惡劣的工業(yè)環(huán)境中，不易受油漬、溶液、塵?；蚱渌廴镜挠绊憽４送?，傳感器采用了高科技材料和*的電子處理技術(shù)，因而它能應(yīng)用在高溫、高壓和高振蕩的環(huán)境中。傳感器輸出信號(hào)為位移值，即使電源中斷、重接，數(shù)據(jù)也不會(huì)丟失，更無(wú)須重新歸零。由于敏感元件是非接觸的，就算不斷重復(fù)檢測(cè)，也不會(huì)對(duì)傳感器造成任何磨損，可以大大地提高檢測(cè)的可靠性和使用壽命。
　　
　　二、工作原理
　　
　　磁致伸縮位移（液位）傳感器，是利用磁致伸縮原理、通過(guò)兩個(gè)不同磁場(chǎng)相交產(chǎn)生一個(gè)應(yīng)變脈沖信號(hào)來(lái)準(zhǔn)確地測(cè)量位置的。測(cè)量元件是一根波導(dǎo)管，波導(dǎo)管內(nèi)的敏感元件由特殊的磁致伸縮材料制成的。測(cè)量過(guò)程是由傳感器的電子室內(nèi)產(chǎn)生電流脈沖，該電流脈沖在波導(dǎo)管內(nèi)傳輸，從而在波導(dǎo)管外產(chǎn)生一個(gè)圓周磁場(chǎng)，當(dāng)該磁場(chǎng)和套在波導(dǎo)管上作為位置變化的活動(dòng)磁環(huán)產(chǎn)生的磁場(chǎng)相交時(shí)，由于磁致伸縮的作用，波導(dǎo)管內(nèi)會(huì)產(chǎn)生一個(gè)應(yīng)變機(jī)械波脈沖信號(hào)，這個(gè)應(yīng)變機(jī)械波脈沖信號(hào)以固定的聲音速度傳輸，并很快被電子室所檢測(cè)到。
　　
　　由于這個(gè)應(yīng)變機(jī)械波脈沖信號(hào)在波導(dǎo)管內(nèi)的傳輸時(shí)間和活動(dòng)磁環(huán)與電子室之間的距離成正比，通過(guò)測(cè)量時(shí)間，就可以高度地確定這個(gè)距離。由于輸出信號(hào)是一個(gè)真正的值，而不是比例的或放大處理的信號(hào)，所以不存在信號(hào)漂移或變值的情況，更無(wú)需定期重標(biāo)。
　　
　　高精度位移傳感器
　　
　　介紹兩種高精度位移傳感器：
　　
　　1、KD2306高精度電渦流位移傳感器
　　
　　KD2306是KD2300的更新產(chǎn)品，采用軌導(dǎo)DIN式結(jié)構(gòu)。本體系非常適合集成到OEM設(shè)備和工業(yè)控制應(yīng)用中。具備的分辨率和速度性能（0.1um分辨率，50kHz高響應(yīng)），滿足各種實(shí)際需求，還可選擇延長(zhǎng)電纜、溫度補(bǔ)償?shù)忍厥庑枨蟆?br />　　
　　可應(yīng)用于精密測(cè)量金屬材料的長(zhǎng)度、寬度、高度、厚度、圓度等尺寸，位移，變形，振動(dòng)等。
　　
　　主要特點(diǎn)：
　　
　?、备叻直媛屎透卟蓸勇剩?br />　　
　?、部勺孕姓{(diào)整零位、增益和線性；
　　
　　⒊可選擇延長(zhǎng)電纜、溫度補(bǔ)償?shù)裙δ埽?br />　　
　?、纯蓽y(cè)鐵磁和非鐵磁所有金屬材料；
　　
　?、稻哂卸鄠鞲衅魍焦δ埽?br />　　
　?、恫皇艹睗?、灰塵的影響，對(duì)環(huán)境要求低。
　　
　　2、SMT9700埃米級(jí)高性能電渦流位移傳感器
　　
　　SMT是一款專門為客戶定制的OEM產(chǎn)品，可測(cè)非導(dǎo)磁體和鐵磁材料，有1、2或3通道可配電渦流探頭。材料、線性、分辨率、帶寬各種性能可自行優(yōu)化，埃米級(jí)分辨率，符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)，尺寸小巧，可配13種電渦流探頭。
　　
　　主要用于光學(xué)平臺(tái)位置測(cè)量、半導(dǎo)體和光器件的研磨、半導(dǎo)體模板對(duì)齊系統(tǒng)、蒸鍍系統(tǒng)、電子顯微鏡垂直軸定位、原子顯微鏡垂直軸定位、磁懸浮軸控制、部件研磨加工的定位、鏡片控制、物質(zhì)收縮測(cè)試測(cè)量、機(jī)械結(jié)構(gòu)變形探測(cè)與測(cè)試。
　　
　　主要特點(diǎn)：
　　
　　1、尺寸小巧
　　
　　2、埃米級(jí)分辨率
　　
　　3、有1、2或3通道可配電渦流探頭
　　
　　4、可配13種電渦流探頭
　　
　　5、工作溫度：0～70&ordm;C（補(bǔ)償范圍15～55&ordm;C）
　　
　　6、符合CE和RoHS標(biāo)準(zhǔn)
　　
　　7、輸出負(fù)載電流<20mA（有短路和過(guò)載保護(hù)）
　　
　　8、供電電壓：15～30V，<50mA（有容錯(cuò)保護(hù)、短路保護(hù)）
　　
　　傳感器市場(chǎng)發(fā)展前景
　　
　　咨詢公司INTECHNOCONSULTING的傳感器市場(chǎng)報(bào)告顯示，2008年傳感器市場(chǎng)容量為506億美元，預(yù)計(jì)2010年傳感器市場(chǎng)可達(dá)600億美元以上。調(diào)查顯示，東歐、亞太區(qū)和加拿大成為傳感器市場(chǎng)增長(zhǎng)zui快的地區(qū)，而美國(guó)、德國(guó)、日本依舊是傳感器市場(chǎng)分布zui大的地區(qū)。就世界范圍而言，傳感器市場(chǎng)上增長(zhǎng)zui快的依舊是汽車市場(chǎng)，占第二位的是過(guò)程控制市場(chǎng)，看好通訊市場(chǎng)前景。
　　
　　一些傳感器市場(chǎng)比如壓力傳感器、溫度傳感器、流量傳感器、水平傳感器已表現(xiàn)出成熟市場(chǎng)的特征。流量傳感器、壓力傳感器、溫度傳感器的市場(chǎng)規(guī)模zui大，分別占到整個(gè)傳感器市場(chǎng)的21%、19%和14%。傳感器市場(chǎng)的主要增長(zhǎng)來(lái)自于無(wú)線傳感器、MEMS（Micro-Electro-MechanicalSystems，微機(jī)電系統(tǒng)）傳感器、生物傳感器等新興傳感器。其中，無(wú)線傳感器在2007-2010年復(fù)合年增長(zhǎng)率預(yù)計(jì)會(huì)超過(guò)25%。
　　
　　目前，的傳感器市場(chǎng)在不斷變化的創(chuàng)新之中呈現(xiàn)出快速增長(zhǎng)的趨勢(shì)。有關(guān)專家指出，傳感器領(lǐng)域的主要技術(shù)將在現(xiàn)有基礎(chǔ)上予以延伸和提高，各國(guó)將競(jìng)相加速新一代傳感器的開(kāi)發(fā)和產(chǎn)業(yè)化，競(jìng)爭(zhēng)也將日益激烈。新技術(shù)的發(fā)展將重新定義未來(lái)的傳感器市場(chǎng)，比如無(wú)線傳感器、光纖傳感器、智能傳感器和金屬氧化傳感器等新型傳感器的出現(xiàn)與*的擴(kuò)大。
　　
　　數(shù)字激光位移傳感器
　　
　　激光位移傳感器可非接觸測(cè)量被測(cè)物體的位置、位移等變化，主要應(yīng)用于檢測(cè)物的位移、厚度、振動(dòng)、距離、直徑等幾何量的測(cè)量。
　　
　　按照測(cè)量原理，激光位移傳感器原理分為激光三角測(cè)量法和激光回波分析法，激光三角測(cè)量法一般適用于高精度、短距離的測(cè)量，而激光回波分析法則用于遠(yuǎn)距離測(cè)量。
　　
　　1、激光三角測(cè)量法原理（如下圖所示）：
　　
　　半導(dǎo)體激光器①被鏡片②聚焦到被測(cè)物體⑥。反射光被鏡片③收集，投射到CMOS陣列④上；信號(hào)處理器⑤通過(guò)三角函數(shù)計(jì)算陣列④上的光點(diǎn)位置得到距物體的距離。
　　
　　原理圖激光發(fā)射器通過(guò)鏡頭將可見(jiàn)紅色激光射向被測(cè)物體表面，經(jīng)物體反射的激光通過(guò)接收器鏡頭，被內(nèi)部的CCD線性相機(jī)接收，根據(jù)不同的距離，CCD線性相機(jī)可以在不同的角度下“看見(jiàn)”這個(gè)光點(diǎn)。根據(jù)這個(gè)角度及已知的激光和相機(jī)之間的距離，數(shù)字信號(hào)處理器就能計(jì)算出傳感器和被測(cè)物體之間的距離。同時(shí)，光束在接收元件的位置通過(guò)模擬和數(shù)字電路處理，并通過(guò)微處理器分析，計(jì)算出相應(yīng)的輸出值，并在用戶設(shè)定的模擬量窗口內(nèi)，按比例輸出標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)信號(hào)。如果使用開(kāi)關(guān)量輸出，則在設(shè)定的窗口內(nèi)導(dǎo)通，窗口之外截止。另外，模擬量與開(kāi)關(guān)量輸出可獨(dú)立設(shè)置檢測(cè)窗口。<br>；真尚有擁有業(yè)界zui為齊全的高精度激光三角測(cè)量傳感器，zui高精度可以達(dá)到1um，為高精度測(cè)量檢測(cè)及測(cè)厚提供全面的解決方案。
　　
　　2、激光位移傳感器采用回波分析原理來(lái)測(cè)量距離以達(dá)到一定程度的精度。傳感器內(nèi)部是由處理器單元、回波處理單元、激光發(fā)射器、激光接收器等部分組成。激光位移傳感器通過(guò)激光發(fā)射器每秒發(fā)射一百萬(wàn)個(gè)激光脈沖到檢測(cè)物并返回至接收器，處理器計(jì)算激光脈沖遇到檢測(cè)物并返回至接收器所需的時(shí)間，以此計(jì)算出距離值，該輸出值是將上千次的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行的平均輸出。激光回波分析法適合于長(zhǎng)距離檢測(cè)，但測(cè)量精度相對(duì)于激光三角測(cè)量法要低。真尚有擁有的激光測(cè)距傳感器，zui遠(yuǎn)檢測(cè)距離可達(dá)3000m