硅微型壓力傳感器的應用

　　摘要：用微機械加工技術制造的典型產品是硅微型壓力傳感器，對此美國日本和歐洲均已形成產業。硅微型壓力傳感器近幾年來發展很快，該傳感器主要應用于汽車工業和醫療保健領域。
　　
　　硅微型壓力傳感器的特點是體積小，重量輕，沒有活動部件，可靠性高，又能大規模生產該傳感器，所以造價低。高可靠性，低成本對于汽車工業的要求可以說是非常適合的，因此在汽車工業中迅速擴展了它的應用領域。如自動剎車系統的壓車面壓力，輪胎壓力，氣囊壓力，傳動系統流體壓力，注入系統流體壓力，注入燃料壓力，發動機機油壓力。進氣管道壓力都有硅微型壓力傳感器額用武之地。
　　
　　LUCASNOVASENSOR公司甚至采用微機械加工技術開發了一種能直接埋入輪胎的壓力傳感器。它能在汽車輪胎壓力很低或輪胎在跑氣時向司機報警。*汽車每年的生產量高達幾千萬輛，因此這是一個極有前途的市場。
　　
　　硅微型壓力傳感器在醫療保健領域里的zui大應用產品是血壓監視器。據稱一些大的醫療機械制造上每年要使用近500萬只壓力傳感器。此外，如婦女難產時監控子宮壓力用的硅微型壓力傳感器，靜脈注射監控藥液流動的傳感器等都是有相當數量的市場需求。其他許多醫療保健方面的應用也正在不斷開發中。
　　
　　硅微型壓力傳感器基本上分成兩類：電容式和壓阻式。電容式的壓力傳感器包括一個薄膜，它作為可變空氣電容器的一個極板，當薄膜上承受壓力時，薄膜產生位移，從而改變電容值，利用這種變化經過相應的電路處理，就可得到壓力值。壓阻式傳感器使用硅材料承受壓力時會產生電阻變化的原理制成，一般將4個硅材料的應變電阻構成惠斯通電橋來測量壓力。