微機械振動傳感器是利用微機械(MEMS)加工技術實現的振動傳感器,通過電容檢測將振動的加速度信號轉換成電壓信號輸出,可配以相應的數字采集器或其它記錄系統。
廣泛地應用于各種工業環境,可以測量各種振動,如位移,速度,加速度等。測量機器的振動并提供信號,輸送給監測儀表,用來對機械故障進行測量;用于工程測振、環境監視、地質勘探、鐵路、橋梁、大壩的振動測試與分析;玩具、結構物、手柄振動和搖晃,儀器儀表,汽車制動啟動檢測;高層建筑結構動態特性、脈動試驗與測量;也可用于安全保衛振動偵察。
微機械振動傳感器設計簡潔,主要技術參數一致性好,穩定,體積小,重量輕,具有防水功能,不需要日常維護。
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