測量目的
為了維持玻璃的平坦性,必須在更寬廣的范圍內,進行的控制溫度,這是因為如果在玻璃基板內產生溫度差,那么將會產生殘留應力,而造成為彎曲等玻璃變形的,或者在切割時讓玻璃出現變形,影響了玻璃基板的穩定性,并且還有可能因為殘留應力的結果,在制程中貼付偏光板之后,會產生光的相位差,造成LCD模組出現漏光的現象。并且應力作用會造成于玻璃表面的傷痕,也會讓基板產生破損的結果。
測量方法
使用美國MTI的高精度激光位移傳感器 MTI LTC-025-02SA/SP 逆時針旋轉22.5°,如下圖所示
裝置構造
測試結果
每移動5mm測試一組數據
通過曲線擬合計算平坦度,通過以下圖形可以看出此次實驗的面板平坦度為3μm
市場應用
通過用MTI的激光位移傳感器LTC-025-02SA/SP成功測量透明材質的平坦度,從而彌補了傳統激光位移傳感器在透明材質或鏡面反射測量上的不足,增加了激光位移傳感器新的應用領域,拓寬了激光位移傳感器的*,且性價比相當高。
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