PAP系列產品方面,備有風量為5/10/20m3/min的3種型號產品,并分別可選擇是否配備HEPA過濾器。價格為201萬6000~304萬5000日元(含稅)。上述產品均可在18~30℃的范圍內、以±0.1℃的精度控制溫度。另外,PEC系列產品的價格為172萬2000日元(含稅)。可在10~60℃下以±0.05℃的精度進行控制。
好利旺機械(OrionMachinery,總部:日本長野縣須坂市)開發出了可比原方式減少70%以上耗電量的溫度調節控制技術——“熱泵平衡控制”技術。該公司備有采用該技術的精密空調器“PAP”系列產品、以及精密冷水機(Chiller)“PEC”系列產品。適用于以下用途:在精密模具以及球面加工等精細加工時,調整裝置及工件的溫度;在半導體保護層涂覆工序中,為了確保膜厚精度,調節周圍環境以及保護液的溫度。
該公司開發的熱泵平衡控制技術,利用了家用熱水器等采用的熱泵循環原理。 另外,通過配管方式及控制技術的改進,使制冷劑更均衡地分流,因此,可根據產生熱量的變動進行控制。耗電量為3.2kW,與使用電加熱器的PID控制精密空調器相比,節省了73%的能量。在制冷機方面,配備了以前產品一直采用的DC無刷馬達,由此,比配備AC伺服馬達的制冷機提高了約30%的效率。
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