三坐標測頭可沿三條垂直導軌移動,通過接觸/非接觸方式傳遞信號(如光柵尺),通過處理計算可獲得工件各點坐標及各參數(shù),是上世紀60年代開發(fā)的超精密測量儀器。
一、結(jié)構(gòu)分類。
根據(jù)結(jié)構(gòu),三坐標測量儀一般可分為以下三類,其價格、精度、環(huán)境要求逐漸增加。
懸臂式:開放性好,精度低,一般用以小型測量機;橋式:承載能力大,開放性好,精度高,是現(xiàn)階段中小型測量機的關(guān)鍵構(gòu)造類型;龍門式:一般是大中型測量機,基礎(chǔ)規(guī)定較高,測量精度。二、系統(tǒng)構(gòu)成三坐標測量機系統(tǒng)構(gòu)成可關(guān)鍵分成機械架構(gòu)、導軌、測頭、計算機和電器系統(tǒng)等,具體內(nèi)部構(gòu)造暫不做開展。
機械框架結(jié)構(gòu):廣義上包括以花崗石為主,溫度穩(wěn)定性好(通常在20±2℃工作)的工作臺、立柱、橋架等機械結(jié)構(gòu);
三坐標測量儀導軌:主要分為三種類型:滑動導軌、滾動軸承導軌和氣浮導軌。主要由導軌體和氣墊組成的氣浮靜壓導軌;
測頭:分為兩種接觸式/非接觸式,通常是與工件接觸的部分。包括傳感器、紅寶石測量針和測量頭座。當測量針接觸物體時,測量針會偏移并在內(nèi)部產(chǎn)生脈沖信號,因此測量機可以鎖定當前的坐標位置;
計算機及電氣系統(tǒng):零件的控制和數(shù)據(jù)處理。
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