1.子柒等離子蝕刻機表面處理:為了提高工具、模具等的性能,可以使用等離子體浸入金屬表面的氮、碳、硼、碳氮。該方式 的特點是,不是在表面入復蓋層,而是改變基體表面的材料結構及其性能。在處理過程中,工件溫度低,不使工件變形對精密零件很重要。該方式 可應用于各類金屬基體,關鍵有電弧放電氮、氮碳浸入、硼浸入。
2.等離子體在電子工業中的應用:大規模集成電路芯片的生產技術,過去采用化學方式,用等離子體方式 代替后,不僅降低了工藝中的溫度,還將涂膠、顯影、腐蝕、除膠等化學濕法改為等離子體干法,使技術更加簡單,實現自動化子柒等離子體蝕刻機用于材料表面改性,主要包括以下2個方面:
①子柒等離子體蝕刻機改變潤濕性(也稱為潤濕性)。有機化合物表面的潤濕性對顏料、墨水、粘合劑等的粘結性、材料表面的閃光電壓和表面泄漏電流等電氣性能有很大影響。測定潤濕性的量稱為接觸角。
②子柒等離子體蝕刻機增強附著力。用等離子體活化氣體處理一些聚合物和金屬后,可以增強材料和粘合劑的結合強度。原因可能是聚合物表面的交聯增強了邊界層的附著力;或者在等離子體處理過程中引入偶極子,提高了聚合物表面的附著強度;也可能是等離子體處理消除了聚合物表面的污垢,改善了附著條件。電暈處理也有同樣的效果。
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