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真空機械手
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- 廠商性質 生產商
- 所在地 上海
更新時間：2016-01-07 14:16:34瀏覽次數：4564
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產品簡介
晶圓搬運系列真空機械手主要應用于半導體加工過程中，是負責真空端不同工位間晶圓傳送的關鍵自動化設備。采用新松公司具有的網絡型機器人控制器進行控制，具有結構緊湊、組態靈活和控制性能高的特點，可適應不同的機器人本體，實現機器人控制器之間、機器人控制器同IC 裝備之間的通訊，便于組成不同的應用系統。目前新松公司已經研制出單臂、雙臂、斯科拉型、蛙型等6個型號的大氣機械手，并且可以根據客戶的要求進行定制，已有用戶應用，并形成了系列化產品滿足不同用戶的要求。
上海新松機器人自動化有限公司
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