上海新松機器人自動化有限公司 |
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400-0885-288
當前位置:
大氣機械手
參考價 | 面議 |
具體成交價以合同協議為準
- 型號
- 品牌
- 廠商性質 生產商
- 所在地 上海
更新時間:2016-01-07 14:19:45瀏覽次數:4908
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產品簡介
晶圓搬運系列大氣機械手主要應用于半導體加工過程中,是負責大氣端不同工位間晶圓傳送的關鍵自動化設備。本系列大氣機械手采用輕量、高剛性手臂、高精度、高性能的AC伺服電機和諧波減速器,可實現高速平穩的運行。該機器人滿足潔凈環境運動件的潤滑要求,保證機器人長期平穩運行,并對潔凈環境無影響。采用新松公司具有的網絡型機器人控制器進行控制,具有結構緊湊、組態靈活和控制性能高的特點,可適應不同的機器人本體,實現機器人控制器之間、機器人控制器同IC 裝備之間的通訊,便于組成不同的應用系統。目前新松公司已經具有單臂和雙臂兩種類型4個型號的,并且可以根據客戶的要求進行定制,已有用戶應用,并形成了系列化產品滿足不同用戶的要求。
上海新松機器人自動化有限公司
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