SMC溫調器INR-499系列

為了提高硅圓片和液晶基板等上形成薄膜時的
厚度均勻性， 清除生成物，保持介質(顯像液、抗腐
蝕液及洗凈液等)粘性的穩定性，都需要進行溫度控
制。 SMC公司可提供多種不同要求的溫調器，進行
溫度控制。

SMC溫調器INR-499系列

INR-242-24B-X35
INR-244-316
INR-244-696A
INR-244-733
INR-244-734
INR-244-736
INR-244-745
INR-244-746
INR-244-747
INR-244-748
INR-244-749
INR-244-757
INS-13-672
I-P006
I-P006A
I-P010
I-P010A
I-P015
I-P016A
IP100-010
IP200-02
IP200-100
IP200-105
IP200-105-S
IP200-110-S
IP200-125
IP200-127-STX82
IP200-130
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IP200-200
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IP200-300
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IP300-000-NPT
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