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651CD2S1N MKS 600 采購網采購咨詢：，下面介紹真空計一些常識：

真空計，又叫真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應的變化進行氣壓的測量。在科研和工業生產中廣泛使用。真空計種類繁多，為了研究和使用方便，合理分類是很重要的。角度不同，分類方法也不同，在這里筆者介紹兩種常用的分類法。

1、按真空計刻度方法分類

（1）真空計：直接讀取氣體壓力，其壓力響應（刻度）可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力計確定。真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關。屬于真空計的有U型管壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。

（2）相對真空計：由一些與氣體壓力有函數關系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進行刻度，必須進行校準才能刻度。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規管和用于控制、指示的測量器組成，讀數與氣體種類有關。相對真空計的種類很多，如熱傳導真空計和電離真空計等。

2、按真空計測量原理分類

按真空計測量原理分類，可以分成直接測量真空計和間接測量真空計。直接測量真空計系直接測量單位面積上的力，屬于這類真空計的有：

（1）靜態液位真空計。利用U型管兩端液面差來測量壓力。

（2）彈性元件真空計。利用與真空相連的容器表面上受到壓力的作用而產生彈性變形來測量壓力值的大小。

壓力為10-1Pa時，作用在1cm2表面上的力只有10-5N，顯然測量這樣小的力是困難的，但可根據低壓下與氣體壓力有關的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于間接測量真空計的有：

（1）壓縮式真空計。其原理是在U型管的基礎上再應用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經過等溫壓縮使之壓力增大，以便用U型管真空計測量，然后用體積和壓力的關系計算被測壓力。（2）熱傳導真空計。利用低壓下氣體熱傳導與壓力有關這一原理制成。常用的有電阻真空計和熱偶真空計。

（3）熱輻射真空計。利用低壓下氣體熱輻射與壓力有關的原理。

（4）電離真空計。利用低壓下氣體分子被荷能粒子碰撞電離，產生的離子流隨壓力變化的原理。如熱如熱陰極電離真空計、冷陰極電離真空計和放射性電離真空計等。

（5）放電管指示器。利用氣體放電情況和放電顏色與壓力有關的性質判定真空度，一般僅能作為定性測量。

（6）粘滯真空計。利用低壓下氣體與容器壁的動量交換即外摩擦原理。如振膜式真空計和磁懸浮轉子真空計。

（7）場致顯微儀。以吸附和解吸時間與壓力的關系計算壓力。

（8）分壓力真空計。利用質譜技術進行混合氣體分壓力測量。常用的有四極質譜計、回旋質譜計和射頻質譜計等。

美國MKS INSTRUMENTS成立于1961年，作為半導體零部件的供應商，在氣體、真空儀器及制程控制應用等方面有技術獨到之處，美*機儀器MKS INSTRUMENTS產品起源于壓力測量和控制核心技術，延伸到材料遞送、氣體成分分析、靜電荷控制、工藝控制、信息管理、電源和反應氣體發生器及真空技術，其產品廣泛地應用于各種半導體生產設備和制造過程中。  MKS流量計是以單位時間內壓力體積的流量方式來控制氣體質量流量的測量儀器。MKS薄膜真空計、MKS流量控制閥、MKS流量計廣泛應用在半導體行業，鍍膜玻璃，生物工程行業，適合各種氣體媒介，常用的有氧氣，氫氣，氮氣，氨氣，SICL4硅烷氣體等。

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