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產品簡介
反應時間500μs以下
工作狀態指示燈橙色LED（輸出ON時亮起）
穩定指示燈綠色LED（穩定入光時、穩定非入光時亮起點燈）
定時器功能裝備約2ms固定斷開延遲定時器 有效/無效切換式
產品介紹
經濟實用的神視SUNX晶圓定位傳感器
特點應用：
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準確檢測。
0.5ms的高速反應
實現0.5ms的高速反應。兼顧高速反應性和高精度。
基于2段受光元件的高精度位置檢測
利用反射光量檢測時，反射光量和晶圓的邊緣形狀會影響檢測結果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，通過反射光位置而非反射光量進行檢測。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小。
測量距離 45mm
檢測物體 3英寸以上的半導體晶圓(注2)
可對應檢測面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測面(注3)
檢測角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時，可按通常靈敏度進行分離檢測(注5)
適用晶圓盒 SEMI規格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動P-P10%以下
M-DW1以反射光的位置來檢測，不管反射光量的多少都能檢測出玻璃晶圓。
亦可檢測玻璃晶圓
可檢測涂氮晶圓
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此，對于使用單波長激光的傳感器，可能會因光全被吸收而無法檢測。
產品型號：
寶德
壓力表 00444504，PRESS：8311，4-20MA，12-30V，0-20bar
球閥 00226498，VL-521T,1/2",225192
球閥 00226502，VL-521T,2",225196
Ross
W6476B3401 ROSS
氣動換向閥 2776B6011
三位五通電磁閥 W7077C6331-ROSS帶24DC電磁線圈
二位三通換向閥 2774B9001-ROSS常開式
帶DC24V電磁線圈 ROSS 1個
二位三通換向閥 2773B9001-ROSS帶DC24控制線圈
經濟實用的神視SUNX晶圓定位傳感器
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