產品特點: 上海FS5001小流量氣體質量流量傳感器
傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
傳感器芯片采用熱質量流量計量,無需溫度壓力補償,保證了傳感器的高精度計量
在單個芯片上實現了多傳感器集成,使其量程比達到了100:1甚至更高
貼壁式安裝,無直管段要求,易于安裝與使用
輸出方式靈活,既可通過通訊接口主動上傳數據(RS232)或由上位機查詢輸出數據(RS232 / I2C),也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
零點穩定度高
全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性
低功耗、低壓損
響應速度快
FS5001流量傳感器參數:
技術參數: 上海FS5001小流量氣體質量流量傳感器
FS5001 | ||
量程范圍 | 0~20,50,200,500,1000,或根據客戶需求定制 | sccm |
量程比 | >100:1 |
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精度 | ±(1.5±0.2FS) | % |
重復性 | ±0.75 | % |
零點輸出飄逸 | ±30 | mV |
輸出飄逸 | 0.16 | %/oc |
響應時間 | 100(默認,50,100,200,500,100設置) | ms |
工作電源 | 8~18Vdc,50mA |
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輸出方式 | RS232,I2C,模擬電壓0.5~4.5Vdc |
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大流量壓損 | 900 | Pa |
大流量壓力 | 0.8 | MPa |
工作溫度 | -5~+45 | oC |
存儲溫度 | -20~+55 | oC |
工作濕度 | <95%RH(無結冰、無凝露) |
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機械接口 | M,Rc,NPT,4mm,6mm快速接頭(配轉接模塊) |
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校準方式 | 空氣(或其他氣體),20oC,101.325kPa |
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重量 | 17.5 | g |
機械尺寸: