采用*的直驅電機驅動技術，具有噪音小、振動小、運行平穩、精度高等特點。具有更靈敏的碰撞保護功能，有效保護機械手和客戶晶圓。全新的軌跡規劃，提高運動節拍，提高了用戶產能。安全區保護等功能有效地提高了產品的安全等級。在半導體前道設備中廣泛應用，對設備可靠性要求高。靈活的本地化、可定制化服務，快速響應的售后服務，以及敦實的技術實力，是我們的主要競爭力。推動了國內半導體產業鏈的進步，有效的支撐了國內設備商的發展。
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