耦合傳動、伺服驅動、潔凈傳動及潤滑、SCARA手臂結構，具有占用空間小、大伸縮比、高精度、高潔凈度等優點。迎合個性化設計，手指及接口用戶可定制，網絡化控制系統，高效率傳片和碰撞保護功能，SEMI認證S2、F47，MCBF大于1000萬次。負責完成晶圓在FOUP、緩沖室、工藝位置等之間的自動傳送。是半導體行業的*之選擇。
參數：
結構形式Mechanical Structure | 柱坐標型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA | |
負載Payload | 名稱name | 晶圓wafer |
直徑diameter | 2寸/4寸/6寸/8寸/12寸 | |
重量weight | ≤0.5kg | |
自由度數DOF | 4 | |
手數量Number of Arm | 2 | |
回轉直徑Maximum Swing diameter | 586mm | |
運動范圍 Moving Range | 升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis | 450mm |
回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | 340° | |
伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis | R660mm | |
節拍 Swap time | 升降軸 (Z軸) Up/Down( Z)-Axis | ＜0.5s（Home to Fullextension） |
回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | 0.7s/180° | |
伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis | 1.2s/450mm | |
重復定位精度 Repeatability | 升降軸 (Z軸)Up/Down( Z)-Axis | ±0.1 mm(3σ) |
回轉軸 (T軸) Rotational(T)-Axis | ±0.006°(3σ) | |
伸展軸 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis | ±0.1 mm(3σ) | |
行程 | 660mm | |
潔凈度Clean Class | ISO CLASS 1 | |
主機重量Body Weight | 70 kg | |
電源Power Supply | 208VAC(50Hz/60Hz) | |
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