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深圳市科銳詩汀科技有限公司
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INFICONAllceramicTMCDG025-CSKY電容膜片真空計SKYAllCeramicCDG全部顯露于真空的表面由超純氧化鋁陶瓷構成，替代常規(guī)CDG的不銹鋼材料，本產品適用于必須避免金屬污染的應用中
INFICON AllceramicTM CDG025-C SKY電容膜片真空計
SKY AllCeramic CDG全部顯露于真空的表面由超純氧化鋁陶瓷構成，替代常規(guī)CDG的不銹鋼材料，本產品適用于必須避免金屬污染的應用中。
優(yōu)勢：
1、無金屬污染。
2、臨界的零點漂移。
3、事實上的耐腐蝕性-長傳感器的壽命的結果是減少停機時間。
4、從而階段擁有的成本。
5、在整個長的運行周期中優(yōu)等的精度和重復性。
6、更好的長期穩(wěn)定性和溫度穩(wěn)定性。
7、對頻繁暴露于大氣不敏感?？擅獬綦x閥（取決于工作模式）
8、由于保護性屏蔽（Suprashield）,對微粒和過程副產物不敏感。
用途：
1、刻蝕、CVD和PVD工藝過程。
2、采用注入或按擴散工藝的硅摻雜過程。
3、氧化過程。
4、產生膜厚為100A范圍的柵氧化層。
5、產生阻擋（Ti,TiN,Ta和TaN作為硅與鋁或銅之間的保護膜層）
產品特點：SKY AllCeramic CDG全部顯露于真空的表面由超純氧化鋁陶瓷構成，替代常規(guī)CDG的不銹鋼材料，本產品適用于必須避免金屬污染的應用中。
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