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型號:ZXHD/VMG0527
庫號:M364781
測量范圍: 100kPa~0.1Pa
測量精度:100KP~500Pa: 5%-3-500P~1Pa: 10%<1Pa: 20%
在線熱偶真空計
在線熱偶真空計
真空規應用場合:本真空規應用于工業應用、科研院所、半導體行業需要測量粗低真空的場合:一般真空壓力測量。前級管道和粗低真空壓力測量。氣體回填測量和控制。質譜儀控制。啟動高真空電離規。系統過程控制。檢測異常壓力,利用繼電器設提供系統安|全措施 控制系統壓力。PVD、CVD氣相沉積鍍膜硅單晶生長
技術指標:
測量范圍: 100kPa~0.1Pa
測量精度:100KP~500Pa: 5%-3-500P~1Pa: 10%<1Pa: 20%
工作電壓: 12-24VDC
功率: <1.5瓦
控制觸點(可選組件):2組 TTL級
通訊方式(可選組件):RS485
模擬輸出(可選組件):隔離輸出 4~20mA。
真空測量系統 真空測量系統 真空測量系統 真空測量系統 真空測量系統 真空測量系統 真空測量系統 真空測量系統
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