潔凈機器人SEMISTAR-VD95D

雙腕玻璃基板搬運機器人
負載：95KG
動態范圍：2300mm
控制柜：DX100
用途：搬運、潔凈室

特點

l 大動作范圍：搬運尺寸達730*920mm雙腕玻璃基板搬運機器人。

l 手臂采用連桿機構實現高鋼性。

l 采用真空內傳送帶驅動實現低放出氣體性能。

l 手臂可內置基板傳感器用配線。

*1：動作節拍不保證帶有基板時搬運速度。由于抓手的形狀及抓手的安裝部分的鋼性產生共振時，會影響動作節拍，請重新設定。
*2：依據JIS B8432標準的動作重復定位精度。但有無工件時負載變動以及使用速度的差異、溫度變化的影響不考慮在內。