大型液晶玻璃基板搬運機器人
負載:50KG
動態范圍:1780mm
控制柜:DX100
用途:搬運、潔凈室
特點
l 適用于第6代(1500*1850mm)超大型
液晶玻璃基板的高速搬運。
l 高速、穩定搬運,提高生產效率。
l 高度柔性動作,大幅度削減配套設備費用。
l 長期保持高潔凈度,降低運營成本。
l 大幅縮短生產線建立時間。
*1:依據JIS B8432標準
*2:潔凈度依據ISO-14644標準。在0.4m/s以上的向下流風速環境下,來確保件搬運面以上潔凈度。
*3:根據用途、作業形式會有所不同。