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沈陽芯源微電子設(shè)備股份有限公司
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芯源公司總部位于沈陽市渾南區(qū)，并在上海臨港設(shè)有全資子公司。公司總部占地4萬平米，擁有專業(yè)的集成電路工藝開發(fā)和檢測實驗室以及半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)組裝車間。芯源公司通過多年技術(shù)積累、創(chuàng)新提高，形成自主知識產(chǎn)權(quán)體系，已擁有237項，其中發(fā)明167項。沈陽芯源公司作為國內(nèi)的半導(dǎo)體裝備制造企業(yè)，所開發(fā)的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產(chǎn)品，已形成完整的技術(shù)體系和豐富的產(chǎn)品系列，可根據(jù)用戶的工藝要求量身定制。產(chǎn)品適應(yīng)不同工藝等級的客戶要求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領(lǐng)域?？蓾M足300mm前道制程及300mm*封裝厚膠工藝制程。芯源公司連續(xù)承擔(dān)國家02科技重大專項《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》項目，連續(xù)兩年被評為中國半導(dǎo)體企業(yè)。
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