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沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司
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沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司
芯源公司總部位于沈陽(yáng)市渾南區(qū)，并在上海臨港設(shè)有全資子公司。公司總部占地4萬(wàn)平米，擁有專(zhuān)業(yè)的集成電路工藝開(kāi)發(fā)和檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室以及半導(dǎo)體設(shè)備生產(chǎn)組裝車(chē)間。芯源公司通過(guò)多年技術(shù)積累、創(chuàng)新提高，形成自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系，已擁有237項(xiàng)，其中發(fā)明167項(xiàng)。沈陽(yáng)芯源公司作為國(guó)內(nèi)的半導(dǎo)體裝備制造企業(yè)，所開(kāi)發(fā)的涂膠機(jī)、顯影機(jī)、噴膠機(jī)、去膠機(jī)、濕法刻蝕機(jī)、單片清洗機(jī)等產(chǎn)品，已形成完整的技術(shù)體系和豐富的產(chǎn)品系列，可根據(jù)用戶(hù)的工藝要求量身定制。產(chǎn)品適應(yīng)不同工藝等級(jí)的客戶(hù)要求，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)、封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領(lǐng)域。可滿(mǎn)足300mm前道制程及300mm*封裝厚膠工藝制程。芯源公司連續(xù)承擔(dān)國(guó)家02科技重大專(zhuān)項(xiàng)《極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝》項(xiàng)目，連續(xù)兩年被評(píng)為中國(guó)半導(dǎo)體企業(yè)。
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